对于形状复杂，具有非圆曲线轮廓、三维曲面等零件编写加工程序，采用自动编程方法，---性好。在编程过程中，程序编制人可及时检查程序是否正确，需要时可及时修改。由于使用计算机代替编程人员完成了繁琐的数值计算工作，并省去了书写程序单等工作量，因而可提高编程效率几十倍乃百倍，解决了手工编程无法解决的许多复杂零件的编程难题。
低能电子衍射技术（leed）照射准直电子束于晶体物质，然后根据观测到的衍射图案，来推断物质结构。这技术所使用的电子能量通常在20～200ev之间。反射高能电子衍射（rheed)）技术以低角度照射准直电子束于晶体物质，然后搜集反射图案
电子显微镜主要分为两种类式：穿透式和扫描式。穿透式电子显微镜的操作原理类似高架式投影机，将电子束对准于样品切片发射，穿透过的电子再用透镜投影于底片或电荷耦合元件。扫描电子显微镜用---的电子束扫描过样品
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